用SSMB-EUV 取代 LPP-EUV?

ronimos

用SSMB-EUV 取代 LPP-EUV?

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加速器周长100~150米，输出EUV功率>1KW

美国的极限制裁极大的加速了国内EUV光刻机的研发速度，原本这种异想天开的“邪路”只能停留在PPT上和实验室里。现在国家的饱和式研发却让它迅速落地

未来这种一台加速器光源带数台甚至数十台光刻机的“光刻厂”


SSMB是清华大学的项目，看报道说他们的团队去德国柏林的加速器上做过实验
https://www.euvlitho.com/2020/S52.pdf

（SSMB-EUV）项目在雄安新区落地
http://www.tsinghua-hb.com/artical.php?aid=1856

更大規模的FEL-EUV
https://www.euvlitho.com/2017/P18.pdf

掃馬想機

做到先算啦。

ricky1992

咁我又信佢會做到嘅
始終大陸好早已經有研究激光
要解決都係精度問題

ronimos

SSMB-EUV光源做更細的製程比LPP 好, 但基本上搬運不到, 安裝周期太長了

大陸基本上都是多線同行, SSMB 同 LPP 都有做。

或者產學結合, 用SSMB 光刻機cover SSMB成本, 令套SSMB 變成成本最低的硬x-ray 實驗裝置

rabbit82047

係咪單純提供光源，之後帶幾台光刻機
不過部機基本就變固定裝置

高登阿伯

係咪單純提供光源，之後帶幾台光刻機
不過部機基本就變固定裝置
rabbit82047 發表於 2023-9-13 22:21

問題唔止呢樣，粒子加速器本身維修保養好花時間，北京天津有部X光同步輻射儀，一年之內只有半年可用，半年做粒子加速器維修。

一隻人

問題唔止呢樣，粒子加速器本身維修保養好花時間，北京天津有部X光同步輻射儀，一年之內只有半年可用，半 ...
高登阿伯 發表於 2023-9-13 22:48

凡事不外乎技術突破
真做成產業本身能賺大錢
技術突破就是預期內的事

qcmadness

凡事不外乎技術突破
真做成產業本身能賺大錢
技術突破就是預期內的事 ...
一隻人 發表於 2023-9-14 10:47

係
但做到成品再講

六代火龍

睇好中國公司叫上海中微  

ampm

奇怪早排ASML CEO訪問時D對話，係咪已知道SSMB呢單資料。